真空感應熔煉是全部高溫合金（包括變形、鑄造、粉末高溫合金）熔煉的第一步工序，其工藝優點是在防止金屬氧化的前提下，可把易氧化的強化相構成元素Al、Ti參加到合金中，前進合金功能。因為真空感應熔煉過程中高溫合金熔體與耐火材料坩堝壁在約1550℃的高溫下持續發生化學反響，生成Al(2)O(3)、ZrO(2)、CrO(3)以及稀土氧化物等陶瓷攙和物，同時澆鑄電極過程中也會帶入耐火材料澆道體系的無機攙和物。國內外對真空感應熔煉過程中前進高溫合金純潔度的技術展開了較多的研究工作，提出了包括泡沫陶瓷過濾、氧化鈣（CaO）坩堝精粹、電磁攪拌、旋轉鑄錠、復合熔鹽凈化、電磁軟觸摸成形凈化等工藝方法。其中，泡沫陶瓷過濾凈化法是國內外常用也是非常經濟的方法，其除掉合金熔體中陶瓷攙和物的原理包括：尺寸較大的攙和物從合金熔體中過濾、阻擋到過濾網；尺寸較小的攙和物被吸附到陶瓷濾網內表面或已被過濾網俘獲的攙和物上。目前，國內外用于熔煉高溫合金的陶瓷過濾網質料包括Al(2)O(3)、ZrO(2)、莫來石（3Al(2)O(3)·2SiO(2)）、堇青石（2MgO·2Al(2)O(3)·5SiO(2)）等。
真空感應熔煉工藝對高溫合金成分的精準控制國內外現已構成一致。通過真空下的感應熔煉過程（包括氬氣保護下的精粹、電磁攪拌等），可以把變形高溫合金的主元素、微量元素嚴峻控制在要求的標準范圍內，甚至有害微量元素（Pb、Sn、Bi等）與氣體元素能下降到幾個ppm級（即10(-6)）的水平，通過陶瓷過濾、參加增加劑（C、CaO基熔渣等）以及工藝優化，可以把合金中的氧化攙和物和O、N、H顯著下降一級。
真空感應熔煉時下降有害氣體（H、O、N）的含量是一個重要工藝環節。氫（H）元素在真空下的高溫合金熔體中溶解度很低，加上H與合金元素的親和力小，熔煉過程中分散到氣-液相界面的速度很快，這也是真空感應熔煉的變形合金中H含量都很低，可以滿足要求的原因；O元素在高溫合金以固溶態或氧化物雜質方法存在，氧化物攙和下降合金的疲乏及蠕變功能，削減合金中O含量的首要方法包括碳（C）脫氧、去除氧化物脫氧兩種方法，而且以前者為主，C在真空下脫氧的才能很強，根據的反響動力學原理是：[C]+[O]=CO（g）↑，因為真空下CO氣體的不斷揮發抽除，反響平衡不斷右移，使合金中O含量持續下降，此外通過增加Al、Ca金屬也可以下降合金中的O含量。合理的熔煉工藝參數與C、Al、Ca等元素的歸納作用，可以去除合金熔體中的絕大部分O，能抵達＜10ppm；高溫合金中N以固溶體、氮化物（TiN、Ti（CN）、AlN等）兩種方法存在，而要下降合金中N元素的含量，一方面需采用低N的原材料特別是金屬Cr，另一方面則需求優化精粹工藝、采用過濾等方法，研究表明，合金精粹溫度越高，時刻愈長，脫N作用越好，此外對合金熔體進行電磁攪拌，也可以促進脫N反響進行。
真空感應熔煉工藝的另一個重要功能就是對高溫合金回來料的純潔回收再利用。車屑在高溫合金回來猜中占了一大部分，因此，研究車屑的純潔熔煉有顯著的含義。國外采用真空感應熔煉運用Y(2)O(3)坩堝，通過實驗研究了GH4169車屑合金回來料重熔后的O、N含量，發現跟著真空度前進，合金中N、O含量下降（N從72ppm下降到7ppm；O含量從28ppm下降到8ppm）；升高熔煉溫度，合金熔體中N含量無顯著變化而O無顯著變化，而O含量與脫氧劑C的增加量有必定聯絡。
真空感應熔煉工藝雖然在高溫合金成分精準控制、回來料回收等方面優勢杰出，可是制備的鑄錠內部存在偏析內部縮孔與疏松、陶瓷攙和物等，真空感應熔煉制備的母合金或電極棒需求進行重熔，以進一步前進材料的冶金質量和力學功能。