電熱元件在真空爐內的作業條件比其他狀態下要好
1電熱元件向工件傳熱的形式不同
真空爐的電熱元件是經過輻射向工件傳熱，所以在其他條件相同時，真空爐的溫度比非真空爐的要高。不過，只在低溫爐中溫度差別才比較顯著。
2電熱元件與爐內氣氛相互作用的條件不同
電熱元件在真空爐內的作業條件比其他狀態下要好，特別是比爐內為氧化氣氛的非真空爐要好得多。因而，電熱元件在真空狀態下對抗氧化性要求不高。非真空爐電加熱器中電熱元件作業時除了爐內氣氛與電熱元件產生化學反應外，某些電熱資料，特別是稀有金屬，在加熱時因吸收很多氣體而變脆、易損壞，但在真空狀態下這些金屬就能較長時間而可靠地作業。
3電熱元件資料的蒸發速度不同
電熱資料在真空爐內容易蒸發，因為隨著電熱元件溫度的升高，其蒸氣壓也隨之添加，故運用壽命下降。從這一點看，真空也給電熱元件帶來了晦氣影響。
對于低、中溫真空爐(運用溫度不高于1000℃)，一般選用鎳鉻合金、鐵鉻鋁合金作電熱元件;對于高溫真空爐，特別是運用溫度大于1200℃的真空爐，所運用的電熱元件為鋁、鎢、鉭等純金屬以及石墨。非金屬電熱資料，如碳化硅在真空下其黏結劑會分化，硅化鋁在真空下超越1300℃時會軟化，因而真空爐很少選用這兩種電熱資料。
真空淬火爐停爐后，爐內需保持在66.5LPa以下的真空度。
爐內有塵埃或不潔凈時，應用酒精或汽油浸濕過的綢布擦洗潔凈并使其枯燥。
爐體上的密封結構，真空系統等零部件拆裝時，應用酒精或汽油清洗潔凈并經過枯燥后，涂上真空油脂再組裝上。
真空淬火爐爐子外表面經常擦洗，料理清潔潔凈。
零件及零件車需清洗枯燥后方可進入爐內，防止水分、污物進入爐內。
各傳動件發現卡位、限位不準，控制失靈等現象時，應立即排隊，不要強操作，避免損壞機件。
機械傳動件應定期加油或換油保養。
真空泵，閥門，測量儀器，熱工儀表，電氣元件等配套件，均按產品的技術闡明予以維修和保養。