在真空熱處理設(shè)備這個(gè)類別當(dāng)中，真空淬火爐是運(yùn)用較為廣泛和具有代表性的典型設(shè)備，它具有以下一些特征：
1.嚴(yán)厲的真空密封眾所周知，真空熱處理時(shí)工件進(jìn)行加熱及淬火都在密閉的真空爐內(nèi)進(jìn)行，因而保證真空淬火爐的作業(yè)真空度，對(duì)確保零件真空熱處理的質(zhì)量有著非常重要的意義。為了保證真空爐的真空性能，爐體有必要選用氣密焊接，上面開孔很少，以盡量削減真空走漏的時(shí)機(jī)。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導(dǎo)出裝置也都是密封結(jié)構(gòu)。
2.大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下運(yùn)用真空淬火爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業(yè)的，這些材料具有耐高溫，蒸汽壓低，輻射作用好，導(dǎo)熱系數(shù)小等特色。如國(guó)內(nèi)現(xiàn)有真空淬火爐首要選用石墨作加熱與隔熱構(gòu)料，它在大氣狀態(tài)下被加熱極易氧化，因而，常規(guī)熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱材料。
3.真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件（水冷電極）、中心真空隔搶手等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下作業(yè)。在這種極為晦氣的條件下作業(yè)，有必要保證各部件的結(jié)構(gòu)不變形、不損壞，真空密封圈不過(guò)熱、不燒毀。因而，各部件依據(jù)不同的情況設(shè)置有水冷裝置，以保證真空爐能夠正常運(yùn)轉(zhuǎn)并有滿足的運(yùn)用壽命。
4.對(duì)工件加熱選用低電壓大電流，在真空熱處理爐內(nèi)，當(dāng)真空度到幾百帕(Pa)時(shí)，通電導(dǎo)體在較高的電壓下，就會(huì)產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象，嚴(yán)峻的會(huì)產(chǎn)生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，形成重大事故和損失。因而，真空熱處理爐的電熱元件的作業(yè)電壓，一般都不超越80-100伏。一起電熱元件盡量避免有尖端的部件，電極間的間距不能太窄等，以避免輝光放電或者弧光放電的產(chǎn)生。
5.自動(dòng)化程度高由于金屬工件的加熱、冷卻等操作，需求十幾個(gè)甚至幾十個(gè)動(dòng)作來(lái)完結(jié)。這些動(dòng)作都在真空熱處理爐內(nèi)進(jìn)行，操作人員無(wú)法接近。一起，有些動(dòng)作如加熱保溫完畢后，金屬工件進(jìn)行淬火工序須多個(gè)動(dòng)作而且要在較短時(shí)間內(nèi)完結(jié)。在這樣敏捷的條件來(lái)完結(jié)許多動(dòng)作，是很容易形成操作人員的緊張而構(gòu)成誤操作。因而，大部分真空淬火爐選用了較高的自動(dòng)化程序來(lái)進(jìn)行操控。
