真空中的淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬即將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體(如氮)進行冷卻。實用于氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的資料。液淬是將工件在加熱室中加熱后，移至冷卻室中充入高純氮氣并馬上送入淬火油槽，快速冷卻。假如需求高的表面質量，工件真空淬火和固溶熱處理后的回火和積淀軟化仍應在真空爐中進行。
真空氣淬爐的非必須結構部件,影響設備安全性的爐殼、爐門及齒圈的結構組成。因為真空氣淬爐在正壓和負壓重復交替使用的非凡性,為了保障設備使用的安全性一起完成設備的經濟性,對爐殼和齒圈經過核算法、查圖法進行實踐核算,并采用無限元分析法對結構進行安全性分析。經過力學模型對設計結構中的單薄環節進行結構優化,達到結構安全性的要求。
