真空爐的結構、溫度控制、加熱工藝和爐內氣氛等，都會直接影響真空爐生產后的產品質量。在鍛造加熱爐內，提高金屬的溫度，能夠下降消融阻力，但溫度過高會引起晶粒氧化或過燒，嚴重影響真空爐內的產品質量。在熱處理過程中，如果把鋼鐵加熱到臨界溫度以上的某一點，然后忽然運用冷卻發冷卻，就能提高鋼的硬度和強度;如果加熱到臨界溫度以下的某一點后緩慢冷卻，則又能使鋼更賦有耐性。
為了取得外表光潔和尺寸準確的工件，或者為了削減金屬氧化以到達維護模具、削減加工余量等目的，能夠選用各種少無氧化加熱爐。在敞焰的少無氧化加熱爐內，使用燃料的不完全燃燒產生復原性氣體，在其中加熱工件可使氧化燒損率下降到0.6%以下。
脫氣是在真空中資料緩慢蒸騰的現象，是在真空性能上首要的問題。任何的固體資料外表都有或許附著氣體和液體堆積形成的分子層。由于壓力的逐步下降這些分子層會逐步蒸騰，由于這些外表的能量小于真空發出的能量。氮、揮發性溶劑和惰性氣體脫氣速度要快一些，油和水蒸氣會持續附著在外表，幾小時后才會蒸騰。多孔資料、灰塵顆粒和其他天然物質會添加外表積，所以有或許引起更多的脫氣出現。輻射和溫度會供給足夠的能量使吸收分子脫離外表。爐子的溫度升高后能夠釋放出低溫時附著在外表的分子。所以，跟著爐子溫度的升高，脫氣現象會逐步增多。
