真空爐高溫除氣工藝可以大大下降不銹鋼出氣率.通過使用實例,給出了真空爐高溫除氣和現場烘烤除氣及二者結合除氣的成果,分析了真空爐高溫除氣的有利因素,證明選用該工藝對于下降不銹鋼出氣率,然后取得超高真空具有明顯的效果。
依據真空根本公式p=Q/S可知,要取得超高真空即低壓力p,有下降氣載Q和增大泵抽速S兩大途徑。真空技術發展到目前的水平,增大各種泵抽速的研討已無太大發展。并且在細長型真空體系(如粒子儲存環、加速器束流傳輸線等)中,泵的有用抽速受流導的約束,即便選用大抽速的泵,也不會對體系真空度發生大的影響。然后可知,取得超高真空的最有用途徑是下降氣載。一個超高真空體系中,資料的出氣往往是氣載的主要來歷。從經濟角度和空間方位等方面考慮,假如選用特別工藝能夠使資料出氣率下降1個數量級,比添加10倍的泵要經濟、合理得多。因而,研討先進工藝對資料進行處理,取得盡可能低的資料出氣率一直是超高真空范疇的一個重要研討課題。20世紀70年代,用真空爐高溫烘烤去除鍛煉時溶解在資料內部的各種氣體(以H2為主),然后取得低出氣率的除氣工藝就在國外眾多粒子加速器真空體系中得到了廣泛的使用,也取得了料想的成果。國內許多真空設備元器件(如濺射離子泵泵芯、泵殼等)也選用真空爐除氣的方法來取得較高的極限真空(大于5×10-9Pa)。
