由高熔點(diǎn)金屬制成的真空熱處理爐加熱元件會跟著真空度和溫度的升高而蒸騰加重，如鉬在1800℃、鉭在2200℃、鎢在2400℃以上運(yùn)用時，蒸騰更為劇烈。石墨的熔點(diǎn)很高為3700℃，但其在真空中運(yùn)用溫度超過2400℃時也會敏捷蒸騰，為了按捺真空熱處理爐加熱元件在真空中的蒸騰，可在爐內(nèi)通入一定壓力的惰性氣體或高純氮?dú)狻Ｓ酶呷埸c(diǎn)金屬鉬、鎢、鉭制成的真空熱處理爐加熱元件，在氧化和滲碳?xì)夥罩卸紩l(fā)生反應(yīng)，因而不能在上述氣氛中運(yùn)用。鉬在氧化性氣氛中會生成極易升華的氧化鉬，在滲碳性氣氛中會生成高電阻率的碳化物，甚至形成電熱元件開裂。
石墨資料作為真空熱處理爐加熱元件在較低溫度運(yùn)用時，其蒸騰丟失很小，損壞多因?yàn)橘Y料功能、應(yīng)力損壞、氧化速度、機(jī)械電氣毛病引起的損壞。石墨資料的材質(zhì)對加熱元件有較大影響，假如挑選顆粒過粗，材質(zhì)不均勻的石墨資料做加熱元件，部分缺陷會導(dǎo)致部分電阻過大，發(fā)生部分過熱，導(dǎo)致運(yùn)用壽命下降，甚至?xí)龜嗉訜崞?；石墨加熱器工作時發(fā)生的熱應(yīng)力會對其發(fā)生損壞。石墨在低溫時導(dǎo)熱功能良好，在高溫時就下降為低溫時的幾分之一，形成真空熱處理爐加熱元件外表和心部的溫度差，使斷面伸長不一，發(fā)生熱應(yīng)力，損壞加熱元件；石墨加熱器的氧化生成物容易散逸，不會形成細(xì)密氧化膜保護(hù)層，從而使氧化連續(xù)進(jìn)行，假如爐內(nèi)密封不好或惰性氣體純度不行會加重真空熱處理爐加熱元件的氧化；爐內(nèi)工件資料蒸發(fā)凝聚使石墨加熱元件與絕緣件連電短路也會損壞真空熱處理爐加熱元件；當(dāng)石墨加熱元件與其它金屬零件相互連接時，因?yàn)榫€膨脹系數(shù)差別大形成應(yīng)力，使石墨件受擠壓或拉伸，加快石墨加熱元件開裂；此外石墨件加工、安裝質(zhì)量對真空熱處理爐加熱元件的運(yùn)用壽命也有十分明顯的影響，石墨件觸摸面潤滑程度不行會使觸摸電阻過大，燒壞真空熱處理爐加熱元件，安裝時過松會呈現(xiàn)因?yàn)橛|摸不良而發(fā)生的拉弧，從而燒壞加熱器和接頭，過緊則會因?yàn)槭Y料的塑性差而使其受力損壞。
