按照發熱體在真空容器的內部和外部，真空熱處理爐可分為內熱爐和外熱爐。
1、外熱式真空熱處理爐在這種真空爐的爐罐外面有普通的空氣爐，通過對真空容器加熱，對工件進行旁熱式加熱。這種熱處理爐的熱效率差，冷卻時間也長。此外，因工件和爐罐之間有溫差、真空外壓還將導致爐罐的變形和破損。這種熱處理爐盡管廉價，但不合適實踐工業生產。
2、內熱式真空熱處理爐內熱式是在真空容器內有電熱體和絕緣物，容器自身為水冷。處理溫度低時，僅對真空密封部份水冷或不水冷。與外熱式相比，內熱式真空爐因工件面對發熱體，所以熱效率高。發熱體材料有電熱合金（如Fe-Cr、Ni-Cr、Fe-Cr-Al）、半金屬（SiC、MoSi2）、以及鋯發熱體（ZrO2）等。
3、模具真空熱處理開展趨勢及關鍵技術根據美國金屬學會熱處理學會、美國金屬處理研究院、美國能源部工業技術廳對美國熱處理工業2020年開展前景的猜測，未來的熱處理工業要有一流的質量，生產具有零改變率的產品零件，在整個工藝中，零分散度是典型的，能量利用率提高到80，工作環境良好，清潔無污染，生產中選用規范的閉環控制系統，智能系統控制決議產品的功能，綜合技術的成果使工藝時間減少50，本錢下降75。所有這些想象，為真空熱處理技術的開展提供了寬廣的舞臺和機遇。美國當前產品熱處理生產中，真空熱處理占15，這一開展趨勢今后將進一步增加。
