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真空爐按加熱方法分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子炮擊爐）和等離子爐等。廣泛應用于陶瓷資料、陶瓷金屬復合資料、難熔金屬、合金資料的高溫真空燒結、退火、回火、時效處理等，以及合金刀具、超硬資料的真空釬焊。