真空爐出現在20世紀30年代前后。1927年美國制成電工材料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業上已用于熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應爐在工業上得到廣泛應用。1960年美國研制成油淬真空爐。
真空爐一般由爐膛﹑電熱設備﹑密封爐殼﹑真空體系﹑供電體系和控溫體系等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為避免爐殼受熱后變形和密封材料受熱蛻變﹐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用途﹐爐膛內部裝有不同類型的加熱元件﹐如電阻﹑感應線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝﹐有的還裝有自動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵﹑真空閥門和真空計等組成。
由于真空爐的種類和型式許多，因而維護和檢修的項目各不相同，修理查看內容應根據爐子技能文件并可按實際需要分為每爐次、每日、每月，每半年和每一年進行的項目。
對有氣鎮功能的真空泵，應在每日開爐前查看并根據需耍敞開30min，以清掃泵油中的水分。
常常查看冷卻水、壓縮空氣、液壓體系的壓力以及冷卻水的活動狀況。
真空爐爐膛內的壓力能抽成低于大氣壓力的工業爐。真空爐用電加熱﹐被加熱的工件表面不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機械性能好。用真空爐熔煉金屬有利于除掉雜質﹐制品針孔少﹐偏析小﹑ 質量好。真空爐適用于高質量﹑高純度﹑難熔金屬的熔煉和加熱﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的鍛煉和磁性材料﹐電工材料﹑高強鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。
對爐門的橡膠密封件和法蘭面應在關護門之前進行查看，不能有砂粒和雜物，用千凈繃布擦洗橡膠密封圈及法蘭面，再均勻涂上真空脂后方可封閉爐門。
工件入爐處理前有必要清洗。油淬處理后應將浸過油的料框、運載部件上的油全部清洗潔凈。
風冷電機一般為常用電機，在真空下不能建議一定要充氣往后才調建議并應有電氣聯鎖維護設備維護。
羅茨泵應在133Pa以上的真空度才調建議，也應有電氣聯鎖維護設備維護。