1.電熱元件向工件傳熱的方法不同
真空爐的電熱元件是通過輻射向工件傳熱，所以在其他條件相一起，真空爐的溫度比非真空爐的要高。不過，只在低溫爐中溫度不同才比較顯著。
2.電熱元件與爐內氣氛相互作用的條件不同
電熱元件在真空爐內的作業(yè)條件比其他狀態(tài)下要好，特別是比爐內為氧化氣氛的非真空爐要好得多。因此，電熱元件在真空狀態(tài)下敵對氧化性要求不高。非真空爐電加熱器中電熱元件作業(yè)時除了爐內氣氛與電熱元件產生化學反應外，某些電熱資料，特別是稀有金屬，在加熱時因吸收許多氣體而變脆、易損壞，但在真空狀態(tài)下這些金屬就能較長期而可靠地作業(yè)。
3.電熱元件資料的蒸發(fā)速度不同
電熱資料在真空爐內容易蒸發(fā)，因為隨著電熱元件溫度的升高，其蒸氣壓也隨之添加，故運用壽數降低。從這一點看，真空也給電熱元件帶來了晦氣影響。
關于低、中溫真空爐(運用溫度不高于1000℃)，一般選用鎳鉻合金、鐵鉻鋁合金作電熱元件;關于高溫真空爐，特別是運用溫度大于1200℃的真空爐，所運用的電熱元件為鋁、鎢、鉭等純金屬以及石墨。非金屬電熱資料，如碳化硅在真空下其黏結劑會分解，硅化鋁在真空下超過1300℃時會軟化，因此真空爐很少選用這兩種電熱資料。
真空淬火爐停爐后，爐內需保持在66.5LPa以下的真空度。
爐內有塵土或不潔凈時，運用酒精或汽油浸濕過的綢布擦拭潔凈并使其單調。
爐體上的密封結構，真空體系等零部件拆裝時，運用酒精或汽油清洗潔凈并通過單調后，涂上真空油脂再組裝上。
真空淬火爐爐子外表面常常擦拭，照顧清潔潔凈。
零件及零件車需清洗單調后方可進入爐內，避免水分、污物進入爐內。
各傳動件發(fā)現卡位、限位禁絕，控制失靈等現象時，應立即排隊，不要強操作，避免損壞機件。
機械傳動件應守時加油或換油保養(yǎng)。
真空泵，閥門，丈量儀器，熱工表面，電氣元件等配套件，均按產品的技能闡明予以修補和保養(yǎng)。