真空爐的優點：
1)完全消除了加熱過程中工件外表的氧化、脫碳，可獲得無蛻變層的清潔外表。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具(如麻花鉆磨削后使溝槽外表的脫碳層直接露出于刃口)切削性能的改進聯系極大。
2)對環境無污染，不需進行三廢處理。
3)爐溫測定、監控精度明顯進步。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內大批工件不同部位的溫差較大，若選用稀薄氣體強制循環，仍可控制在±5°c溫差范圍內。
4)機電一體化程度高。在溫度測控精度進步的基礎上，工件移動、氣壓調理、功率調理等均可預先編程設定，按步驟施行淬火和回火。
5)能耗明顯低于鹽浴爐。現代先進的真空爐加熱室選用優質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節能效果明顯。