1、水冷設備，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中心真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態下作業。在這種極為晦氣的條件下作業，必須保證各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不焚毀。因而，各部件應該根據不同的狀況設置水冷設備，以保證真空熱處理爐能夠正常運轉并有足夠的運用壽命。
2、選用低電壓大電流：在真空容器內，當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會發生輝光放電現象。在真空熱處理爐內，嚴重的會發生弧光放電，焚毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和丟失。因而，真空熱處理爐的電熱元件的作業電壓，一般都不超越80—100伏。一起在電熱元件結構設計時要采納有用措施，如盡量防止有頂級的部件，電極間的距離不能太小窄，以防止輝光放電或許弧光放電的發生。
3、大部分加熱與隔熱資料只能在真空狀態下運用：真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業的，因而對這些資料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射作用好，導熱系數小等要求。對立氧化功能要求不高。所以，真空熱處理爐廣泛選用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構料。這些資料在大氣狀態下極易氧化，因而，常規熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱資料。
4、嚴厲的真空密封：金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內進行，因而，取得和保持爐子原定的漏氣率，保證真空爐的作業真空度，對保證零件真空熱處理的質量有著非常重要的意義。所以真空熱處理爐的一個關鍵問題，便是要有可靠的真空密封結構。為了保證真空爐的真空功能，在真空熱處理爐結構設計中必須道循一個基本原則，便是爐體要選用氣密焊接，一起在爐體上盡量少開或許不開孔，少選用或許防止選用動密封結構，以盡量削減真空走漏的機會。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出設備也都必須設計密封結構。