以往，對真空爐的冷卻方法主要有以下幾種：第一種，爐內循環冷卻，便是使用爐體內部的鼓風機帶動爐內氣體流動，通過內置換熱器換熱，達到冷卻物料的意圖；第二種：爐外循環冷卻，便是使用引風機將氣體引出，通過爐外的水冷換熱器，再回到爐內，完成冷卻物料的意圖；第三種：便是使用爐內循環和爐外循環的結合方法冷卻。以上冷卻方法都是選用水冷換熱器冷卻的方法，由于換熱介質水自身溫度的限制，使得冷卻消耗的時刻較長，影響出產功率。
退火是一種金屬熱處理工藝，指的是將金屬緩慢加熱到必定溫度，保持足夠時刻，然后以適合速度冷卻。意圖是降低硬度，改進切削加工性;消除剩余應力，安穩尺度，減少變形與裂紋傾向:細化晶粒，調整組織，消除組織缺陷，退火可以將通過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的金屬資料產生再結晶，改進塑性和耐性，消除剩余應力，使金屬資料充分發揮其潛力，延伸其使用壽命。關于鈦、鋯、鉿等稀有金屬，他們在高溫下性質活潑，易與碳、氧、氬、氫產生反響，所以這些資料的退火處理最好在真空環境中進行，以減少氧化和除氫，并降低剩余應力。