一、嚴格的真空密封：眾歷周知，金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內進行，因而，獲得和保持爐子原定的漏氣率，確保作業真空度，對確保零件真空熱處理的質量有著非常重要的意義。所以有一個關鍵問題，便是要有可靠的真空密封結構。為了確保其真空功能，在結構規劃中必須道循一個基本原則，便是爐體要選用氣密焊接，一起在爐體上盡量少開或許不開孔，少選用或許防止選用動密封結構，以盡量減少真空走漏的時機。安裝在爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出設備也都必須規劃密封結構。
二、大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態下運用：真空爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業的，因而對這些材料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導熱系數小等要求。對抗氧化功能要求不高。所以，真空爐廣泛選用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構料。這些材料在大氣狀態下極易氧化，因而，常規熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱材料。
三、水冷設備：
真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中心真空隔搶手等部件，均在真空、受熱狀態下作業。在這種極為不利的條件下作業，必須確保各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不焚毀。因而，各部件應該依據不同的狀況設置水冷設備，以確保該爐能夠正常運行并有足夠的運用壽命。
四、選用低電壓大電流：在真空容器內，當真空空度為幾托的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會產生輝光放電現象。在爐內，嚴重的會產生弧光放電，焚毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。因而，真空爐的電熱元件的作業電壓。一起在電熱元件結構規劃時要采取有效措施，如盡量防止有尖端的部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或許弧光放電的產生。
五、自動化程度高：真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需求十幾個甚至幾十個動作來完結。這些動作內在真空爐內進行，操作人員無法接近。一起，有些動作如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須六、六個動作并且要在15秒鐘以內完結。在這樣敏捷的條件來完結許多動作，是很簡單造成操作人員的緊張而構成誤操作。因而，只要較高的目動化才能精確、及時按程序協調動。
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