真空熱處理爐由加熱區、控溫區和真空室組成，其結構如下圖所示：
加熱區：加熱區是真空熱處理爐的中心部分，主要由電阻絲、電熱棒等加熱元件組成。經過電阻絲加熱，將工件置于必定溫度下進行加熱處理。
控溫區：控溫區是為了準確操控工件加熱溫度的區域，由測溫外表、操控器等組成。經過測溫外表實時監測工件溫度，并將數據傳輸到操控器中進行處理。操控器根據工件原料、加熱溫度等因素進行自動化操控，以保證工件加熱溫度的穩定和準確。
真空室：真空室是密封的容器，用于產生和堅持真空狀態，保證工件在加熱過程中不與空氣接觸，防止氧化反響的產生。同時，真空室能夠產生適合的抽氣氣體，下降工件與環境之間的熱輻射，使加熱作用更佳。
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