大部分加熱與隔熱材料只能在直空狀態下使用：真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業的，因而對這此材料一提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射作用好，導熱系數小等要求，氧化性能要求不高，所以，真空爐廣泛地選用了鎢、鉑和石墨等作加熱與隔熱構料、這此材料在大氣狀態下極易軌化，因而，常規熱處理爐是不能選用這此加熱與隔熱材料。
選用低電壓大電流：石真空容器內，真空容器內的通電導體拍較高的電壓下，會發生輝光放電現象，在真空爐內，嚴峻的會發生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，形成重大事故和報失，因而，真空熱處理爐的電熱元件的作業電壓，一般都不超過80—100伏，一起在電熱兒件結構設計時要采納有效措施，如盡最防止有尖端的部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的發生。
水冷設備，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件，別離處置（水冷電極）、中心真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態下作業，在這種極為不利的條件下作業，必須確保各部件的結構不變形、小損壞，了黔空密封圈不過熱、不燒毀，因而，各部件應該根據不同的情況設置水冷設備，以確保真空熱處理爐能夠正常運行并有夠的使用壽命。
真空爐的結構、加熱工藝、溫度操控和爐內氣氛等，都會直接影響加工后的產品質量。在鍛造加熱爐內，進步金屬的加熱溫度，能夠降低變形阻力，但溫度過高會引起晶粒長大、氧化或過燒，嚴峻影響工件質量。在熱處理過程中，如果把鋼加熱到臨界溫度以上的某一點，然后突然冷卻，就能進步鋼的硬度和強度;如果加熱到臨界溫度以下的某一點后緩慢冷卻，則又能使鋼的硬度降低而使韌性進步。
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