真空爐中的石墨件在高溫、真空或惰性氣體環境中作業，若保養不當，簡略因多種原因導致損壞，影響設備功用和運用壽數。以下是常見的損壞類型及其成因和預防主張：
1.氧化與燒蝕
原因：
爐體密封不良或真空度缺少時，殘留氧氣在高溫下與石墨產生氧化反響（C+O2→CO2），導致外表疏松、強度下降甚至開裂。
預防措施：
守時查看爐體密封性（如法蘭、電極接口）。
保證真空泵功用合格，保持爐內真空度。
通入高純度惰性氣體（如氬氣）作為維護氣氛。
2.熱應力開裂
原因：
升降溫速率過快導致石墨件表里溫差大，熱膨脹不均產生應力，尤其在雜亂形狀部件（如加熱器、聯接件）中易引發裂紋。
預防措施：
嚴峻遵照設備規則的升降溫程序（如≤5℃/min）。
防止急冷急熱，停機后天然冷卻至安全溫度再開爐。
守時查看石墨件外表裂紋（運用放大鏡或探傷劑）。
3.機械危害
原因：
設備/拆開時磕碰、東西劃傷、過度緊固螺栓導致石墨脆性斷裂，常見于薄壁結構或螺紋聯接處。
預防措施：
運用軟質東西（如銅制扳手）操作，輕拿輕放。
清潔時防止硬質刷子，改用無塵布或壓縮空氣。
均勻施力緊固螺栓，防止部分應力會集。
4.污染與雜質腐蝕
原因：
油污、金屬粉塵或水汽殘留，高溫下與石墨反響生成碳化物（如SiC、金屬碳化物），導致部分腐蝕或絕緣功用下降。
預防措施：
守時用無水乙醇或丙酮清潔石墨件外表。
防止直接接觸金屬熔體（如釬焊時運用石墨舟隔絕）。
堅持爐內單調，預熱去除吸附水分。
5.揮發物堆積腐蝕
原因：
處理低熔點金屬（如鋅、鋁）時，蒸氣在石墨外表冷凝，滲透孔隙引發結構劣化。
預防措施：
在石墨件外表涂覆抗氧化涂層（如SiC涂層）。
運用高密度石墨（如等靜壓石墨）削減孔隙率。
守時拾掇爐膛內壁堆積物。
6.高溫蠕變變形
原因：
長期承受高溫（＞2000℃）及機械載荷（如支撐件），石墨逐步產生塑性變形，導致規范失穩。
預防措施：
選用抗蠕變功用好的石墨資料（如細顆粒結構石墨）。
設計時預留熱膨脹間隙，防止過緊安裝。
守時檢測關鍵部位規范，及時替換老化部件。
7.化學腐蝕（特定環境）
原因：
在含氯、硫等活性氣體的工藝中，石墨與氣體反響（如C+Cl2→CCl2），加速腐蝕。
預防措施：
挑選高純度石墨（灰分＜100ppm）進步耐蝕性。
工藝中嚴峻操控腐蝕性氣體濃度。
縮短此類工藝的運轉時間，加強后續清潔。
8.真空放電擊穿
原因：
外表毛刺或污染物在高電壓下引發電弧放電，構成部分燒蝕（常見于石墨加熱器）。
預防措施：
設備前打磨拋光石墨件外表，去除毛刺。
堅持電極接觸面清潔，涂抹導電膏削減接觸電阻。
操控作業電壓在安全閾值內。
維護主張
守時查看：每月目視查看氧化、裂紋，每年測電阻率點評老化程度。
規范操作：練習人員按手冊操作，防止人為失誤。
備件處理：儲備易損件（如加熱棒），挑選牢靠供應商（如東洋碳素、西格里集團）。
通過體系維護，石墨件壽數可延長至3-5年，明顯下降設備故障率。
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