真空爐石墨風(fēng)管是真空爐（如CVD爐、石墨化爐、燒結(jié)爐等）中用于氣體運(yùn)送、冷卻或熱交換的要害部件，其結(jié)構(gòu)規(guī)劃和制造工藝直接影響真空爐的密封性、耐高溫性及運(yùn)用壽數(shù)。以下是石墨風(fēng)管的結(jié)構(gòu)規(guī)劃要害和制造工藝詳解。
一、石墨風(fēng)管的結(jié)構(gòu)規(guī)劃
1.根柢結(jié)構(gòu)辦法
真空爐石墨風(fēng)管一般選用直管、彎頭、三通、法蘭聯(lián)接 等結(jié)構(gòu)，具體辦法取決于真空爐的氣流途徑需求。常見規(guī)劃包含：
單層管 ：適用于一般氣體運(yùn)送，結(jié)構(gòu)簡略，成本低。
雙層管 ：內(nèi)層用于氣體活動(dòng)，外層用于隔熱或冷卻（如水冷夾套）。
多孔管 ：用于均勻散布?xì)怏w（如CVD爐的進(jìn)氣風(fēng)管）。
2.要害規(guī)劃參數(shù)
參數(shù)
規(guī)劃要求
內(nèi)徑（ID）
依據(jù)氣體流量核算，避免流速過高導(dǎo)致湍流或堆積
壁厚
一般5~20mm，需考慮機(jī)械強(qiáng)度與熱應(yīng)力
長度
受石墨材料強(qiáng)度約束，一般≤3m（過長易變形）
聯(lián)接辦法
法蘭、螺紋或石墨粘接，需確保氣密性
外表處理
高純度石墨（削減蒸騰）、抗氧化涂層（如SiC）
3.結(jié)構(gòu)優(yōu)化要害
熱脹大補(bǔ)償 ：選用波紋管結(jié)構(gòu) 或柔性聯(lián)接 ，避免高溫脹大導(dǎo)致開裂。
氣流均勻性 ：多孔規(guī)劃或?qū)Я靼鍍?yōu)化，確保氣體散布均勻（如CVD爐進(jìn)氣）。
密封規(guī)劃 ：法蘭聯(lián)接處選用石墨墊片 或金屬密封圈，避免真空走漏。
支撐結(jié)構(gòu) ：避免懸空過長，選用石墨或陶瓷支架分散載荷。
二、石墨風(fēng)管的制造工藝
1.材料選擇
高純等靜壓石墨（ISO-Molded Graphite） ：強(qiáng)度高、熱導(dǎo)率好，適用于高溫環(huán)境（如SGL、Toyo Tanso等品牌）。
抗氧化石墨 ：外表涂覆SiC或ZrB?，行進(jìn)抗氧化才華（適用于非徹底真空環(huán)境）。
2.加工工藝
（1）毛坯成型
等靜壓成型 ：石墨粉+粘結(jié)劑高壓成型，確保各向同性。
揉捏成型 ：適用于長直管，但強(qiáng)度較低。
（2）機(jī)械加工
車削/銑削 ：CNC機(jī)床加工內(nèi)孔、法蘭端面等。
鉆孔 ：多孔風(fēng)管需精細(xì)鉆孔（激光或超聲加工可行進(jìn)精度）。
外表拋光 ：下降氣體活動(dòng)阻力，削減顆粒堆積。
（3）聯(lián)接與組裝
法蘭聯(lián)接 ：選用高精度石墨法蘭+金屬螺栓緊固（需考慮熱脹大差異）。
粘接工藝 ：用高溫石墨膠（如酚醛樹脂基）粘合，但長期高溫或許老化。
螺紋聯(lián)接 ：適用于小型風(fēng)管，需防松規(guī)劃。
（4）后處理
高溫純化 ：在2000℃以上真空/慵懶氣氛中處理，去除雜質(zhì)行進(jìn)純度。
涂層處理 ：噴涂SiC或Al2O2涂層，增強(qiáng)抗氧化性。
三、質(zhì)量操控與查驗(yàn)
1.標(biāo)準(zhǔn)檢測
卡尺/三坐標(biāo)測量儀檢查內(nèi)徑、壁厚、圓度等。
氣密性查驗(yàn)（氦檢漏或壓力衰減法）。
2.功用查驗(yàn)
高溫抗彎強(qiáng)度 ：仿照工作溫度下的機(jī)械功用。
熱震試驗(yàn) ：快速升降溫（如1000℃→室溫循環(huán)）查驗(yàn)抗開裂性。
氣流均勻性查驗(yàn) （適用于多孔風(fēng)管）。
四、運(yùn)用事例與注意事項(xiàng)
1.典型運(yùn)用
CVD爐 ：進(jìn)氣風(fēng)管需多孔規(guī)劃，確保氣體均勻散布。
石墨化爐 ：冷卻風(fēng)管需耐高溫氧化（>2000℃）。
真空燒結(jié)爐 ：要求高氣密性，法蘭聯(lián)接需嚴(yán)峻密封。
2.運(yùn)用與保護(hù)建議
避免機(jī)械沖擊 ：石墨脆性高，轉(zhuǎn)移時(shí)需輕拿輕放。
操控升降溫速率 ：建議≤5℃/min，削減熱應(yīng)力。
守時(shí)檢查 ：查詢外表氧化、裂紋或聯(lián)接處走漏。
真空爐石墨風(fēng)管的規(guī)劃需歸納考慮氣流散布、熱應(yīng)力、密封性 ，制造工藝需確保高純度、高精度、耐高溫 。選用等靜壓石墨+抗氧化涂層 ，結(jié)合CNC精細(xì)加工+嚴(yán)峻檢測 ，可大幅行進(jìn)真空爐的穩(wěn)定性和壽數(shù)。關(guān)于極點(diǎn)環(huán)境（如超高溫或腐蝕性氣體），可考慮C/C復(fù)合材料或陶瓷涂層 替代部分石墨結(jié)構(gòu)。
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