對真空爐進行維修后，要進行烘爐、有必要對真空爐進行真空檢漏。真空爐烘爐前，可用1000V搖表檢測真空爐的絕緣，正常不小于2MΩ。
真空爐烘爐分三個階段：
①水分排出期0～200℃，是真空爐保溫層中的水分和真空爐體中潮氣的排出期，有必要查看真空爐真空度，同時保溫時刻較長。
②真空爐體放氣量大的溫度區一般在500℃左右，因真空爐放氣量比較大，這時升溫不超越50℃/h。保溫時刻一般在60分鐘以上。
③保溫期1200℃左右，加熱每升高100～200℃，要進行保溫一段時刻，升溫過快易損壞保溫層、真空爐放氣不完全。
(1)編制真空爐運用保護操作規程，建立真空爐工作記錄和修理檔案，統計工作累積作業時刻，加強真空爐日常保護，把握設備技術狀況改變趨勢，及早發現毛病損壞預兆，避免屬于事端搶修性質的維修，并依據真空爐作業負荷和工作狀況，提前有針對性地預備真空爐修理用零部件，編制真空爐工作保護方案。如真空爐加熱元件的運用壽命長短與作業溫度、真空爐內產品介質、產品數量及操作狀況等許多要素有關，在每天24小時加工出產的狀況下，真空爐加熱元件和隔熱屏的更換大約每兩三年進行一次．這取決于釬焊作業的類型和運用次數。真空爐一般在春秋時節走漏毛病較多，長期閑置的真空爐在次運用時真空爐走漏毛病比較易發生。這時刻就有必要進行真空檢漏，真空檢漏一般采納每月一次測壓升率(在常溫下，關閉一切真空閥，中止真空體系工作，10min后讀一個數，1h后再讀一個數，兩數之差是壓升率的數值)，把握設備走漏改變趨勢，如真空設備連續停機一個禮拜，要空工作一次（進行烘爐）。 在真空體系檢漏時，除暫時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所置疑的漏點處，調查真空表讀數有無改變。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時查看真空爐的滑閥泵、羅茨泵、保持泵、分散泵油，如發現油遇水乳化，真空跌落，有必要更換上面4個泵油，應每周查看一次油位和油的質量。分散泵油油分散泵有積炭可用化學酸洗的辦法清洗。
(2)真空爐維修好后的運用初期要常常進行查看，查看運用后的真空爐表溫度和爐子實踐溫度是否共同(定期進行真空計、溫控儀、熱電偶、電壓表、電流表的檢定、校準作業），查看三相加熱體是否存在過熱損害狀況、溫度不均或發白等現象。對于三相高溫真空爐，以及真空電阻爐容量超越100kW時，每相、每一個加熱區都應裝置有電流表，發現真空爐溫與儀表指示不正常，及時剖析處理。