雖然真空氣氛爐在進行燒結與氣氛熱處理時有著很好的優勢，但在真空燒結時，常產生金屬的揮發丟失，關于含碳材料的脫碳可以用添加粉末料中的含碳量以及控制真空度來解決，除此之外，還需要在運用過程中注意以下內容：
1、氰化鉀(KCN)不可與酸類混置，因兩者可產生劇毒之KCN氣體。
2、除了做實驗外，不要停留在高溫爐管區。
3、一旦發現有阻礙安全之事物時，請當即告訴有關人員(技術員等)。
4、請節約純水用量。
5、實驗工作完畢時，若無人持續運用，請關閉特殊氣體，保留N2活動，爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關而沒有關，如：cleanhood燈火、煮酸用的小電爐或其它，請順手關掉。
6、處理HF時，請戴手套，如不當心碰到HF時，請馬上沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15分鐘。
7、長短推桿之前端，在還沒運用屆時，請朝上防止污染。
8、晶片進出爐口時，承接boat的holder，請勿碰觸爐管口，防止污染爐管。
9、石英玻璃制品請當心運用，防止決裂，引起嚴重割傷。
10、防止吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
11、破晶片、濾紙、棉花棒等，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，防止因排水不良造成地板漬水。