真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理相結(jié)合的歸納技術(shù)，是指熱處理過(guò)程的全部和部分都是在真空狀況下進(jìn)行的。我國(guó)真空分為低真空、中真空、高真空和超高真空。
真空爐和中頻電爐在熱加工范疇具有良好的發(fā)展前景。用于透熱、軋制、鍛造、彎曲、熱處理（淬火）、焊接等過(guò)程的感應(yīng)加熱。那么真空爐和中頻電爐的熱處理工藝是什么呢？上海真空爐廠(chǎng)家匯眾電爐簡(jiǎn)單論述，如下：
1.鈦合金在真空爐中處理時(shí)，由于鈦和氮在高溫下反應(yīng)生成金鈦氮化物，不能用氮?dú)庾鳛槔鋮s氣體。
2.真空爐的活動(dòng)連接部分全部用O形圈密封，并用水冷卻。
3.工件真空淬火時(shí)，應(yīng)運(yùn)用飽滿(mǎn)蒸汽壓低的真空淬火油。
4.真空爐的保護(hù)應(yīng)處于真空或純氮?dú)獬渥顩r，防止不運(yùn)用時(shí)的空氣吸收和吸濕。
5.國(guó)內(nèi)真空爐升壓率不大于1.33pa/h，國(guó)外部分企業(yè)升壓率為0.67pa/h
6.真空加熱主要以輻射加熱為主，爐內(nèi)工件之間應(yīng)堅(jiān)持一定距離。
7.在加熱過(guò)程中，工件和爐料將被放氣以降低真空度。
8.真空回火、真空退火、真空固溶處理和真空時(shí)效的加熱溫度一般與常規(guī)處理相同。
9.真空回火爐應(yīng)設(shè)有快速冷卻設(shè)備。冷卻水壓力大于0.2MPa，流量可調(diào)。
10.冷卻氣體：一般鋼用99.995%純氮，高溫合金用99.999%氮或氬，鈦合金用99.995%氬。
11.升溫：工件放入后，經(jīng)預(yù)抽至6.67pa方可加熱。