真空爐即真空熱處理爐，真空爐般由主機(jī)、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空體系、供電體系、控溫體系和爐外運(yùn)輸車等組成。
一、真空爐的裝置
1、參照?qǐng)D紙供給的真空爐平面布置、裝置位置和土建條件，選好設(shè)備裝置地址并進(jìn)行土建施工。裝置地址應(yīng)無煙塵污染，環(huán)境清潔，空氣枯燥，不該與其他設(shè)備等放在起，堅(jiān)持室溫10-35℃，地上平整光亮。
2、裝置石墨電熱元件和水冷電時(shí)，
a.拿石墨元件時(shí)要為當(dāng)心，以防損壞；
b.要牢靠地?cái)Q緊螺栓，以到達(dá)良好的電接觸，不要用力太大，避免螺紋斷扣。
3、按真空體系圖將真空體系定位，拼裝并與爐體連接。裝置時(shí)把O型密封圈涂上層薄薄的真空油脂，均勻地?cái)Q緊法蘭。
4、按水冷體系圖，將進(jìn)水管與排水管分別接到爐子的進(jìn)、排水口上，供給壓力為0.1-0.15MPa，溫度不低于15℃，不高于30℃的水源，好供給循環(huán)水、防銹水。
5、供給壓力小為0.5MPa的氣動(dòng)氣源，可用工業(yè)氮?dú)猓缬脡嚎s空氣，則自備氣動(dòng)“三大件”（如油霧氣、減壓器、分水濾氣器）。
6、按回充氣體體系圖將管路接至回充管路上，并主張供給純度為99.99%—99.999%的高純度氮?dú)庾鳛榛爻錃怏w。
7、按電氣接線圖把電源接到相應(yīng)的電接點(diǎn)上，校核電源電壓，連接控制箱，動(dòng)力箱和爐體間的電線電纜。
8、裝置其余零部件，包含導(dǎo)管、丈量?jī)x器儀表等。
9、爐體和控制箱均接地，接地電阻≤4歐，儀表和真空計(jì)的規(guī)管電纜也應(yīng)接地。
二、真空爐調(diào)試
1、冷爐調(diào)試
A、機(jī)械、氣壓、電氣聯(lián)動(dòng)調(diào)試，調(diào)整工件傳送搬運(yùn)時(shí)刻≤25S，整個(gè)聯(lián)動(dòng)在裝載200Kg的情況下，接連動(dòng)作三次應(yīng)和諧平穩(wěn)，精確牢靠。
a.真空隔熱門開啟或關(guān)閉行程時(shí)刻調(diào)至≤8S。
b.工件車行進(jìn)至加熱室行程時(shí)刻調(diào)至12—15S。
c.工件車上升或下降行程時(shí)刻調(diào)至≤3S。
d.工件車后退至冷卻室行程時(shí)刻調(diào)至12—15S。
e.裝載200Kg進(jìn)行聯(lián)動(dòng)實(shí)驗(yàn)，總行程時(shí)刻為≤25S接連動(dòng)作應(yīng)和諧平穩(wěn)，精確牢靠。
B、氣冷風(fēng)扇調(diào)試，轉(zhuǎn)速約1400r/min,滾動(dòng)靈活，無異常現(xiàn)象。
C、報(bào)警體系調(diào)試，應(yīng)精確無誤，安牢靠。
D、丈量緣電阻大于等于20千歐。
E、丈量爐子冷態(tài)真空度，壓升率挨近0.5Pa/h（可結(jié)合在熱調(diào)試中進(jìn)行）。
2、真空爐熱調(diào)試
A、在爐子真空度不低于13.3Pa的情況下通電烘爐，在爐溫緩慢升至1300℃的整個(gè)過程中，爐子真空度不該低于13.3Pa，經(jīng)過充沛烘烤，除氣后，壓升率到達(dá)技術(shù)要求時(shí)即可。
B、限真空度丈量：不低于6×1.0-4Pa。
C、工作真空度丈量：不低于2.7Pa（在1000空爐時(shí)）。
D、壓升率丈量：在真空爐加熱至1200℃時(shí)，經(jīng)過充沛烘烤除氣后，爐溫冷卻至100℃以下時(shí)再測(cè)壓升率，應(yīng)到達(dá)0.5Pa/h。
E、回充氣體調(diào)試：當(dāng)冷卻室真空度為1.33Pa時(shí)，關(guān)閉真空隔熱門、冷卻室真空閥，并當(dāng)即向冷卻室爐充入氮?dú)?.06MPa時(shí)，時(shí)刻應(yīng)在2.5（秒）完成，而且加熱室的真空度不得低于670Pa。