爐膛內的壓力能抽成低於大氣壓力的工業爐。真空爐用電加熱﹐被加熱的工件表面不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機械性能好。用真空爐熔煉金屬有利於除去雜質﹐制品針孔少﹐偏析小﹑質量好。真空爐適用於高質量﹑高純度﹑難熔金屬的熔煉和加熱﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的鍛煉和磁性材料﹐電工材料﹑高強鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。
真空爐出現於20世紀30年代前后。1927年美國製成電工材料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業上已用於熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應爐在工業上得到廣泛使用。1960年美國研製成油淬真空爐。
真空爐一般由爐膛﹑電熱設備﹑密封爐殼﹑真空體系﹑供電體系和控溫體系等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱蛻變﹐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位於密封爐殼內。依據爐子用途﹐爐膛內部裝有不同類型的加熱元件﹐如電阻﹑感應線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝﹐有的還裝有自動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵﹑真空閥門和真空計等組成。
真空爐按加熱元件分為真空電阻爐﹑真空感應爐﹑真空電弧爐﹑真空自耗電弧爐﹑電子束爐(又稱電子轟擊爐)和等離子爐等。
真空淬火爐停爐后，爐內需保持在66.5LPA以下的真空度。
爐內有灰塵或不潔凈時，使用酒精或汽油浸濕過的綢布擦洗潔凈并使其枯燥。
爐體上的密封結構，真空體系等零部件拆裝時，使用酒精或汽油清洗潔凈并經過枯燥后，涂上真空油脂再組裝上。
真空淬火爐爐子外表面常常擦洗，操持清潔潔凈。
零件及零件車需清洗枯燥后方可進入爐內，防止水分、污物進入爐內。
各傳動件發現卡位、限位禁絕，控制失靈等現象時，應立即排隊，不要強操作，避免損壞機件。鋁板點焊機機械傳動件應定期加油或換油保養。
真空泵，閥門，測量儀器，熱工儀表，電氣元件等配套件，均按產品的技術說明予以修理和保養。
修理操作應在停電情況下進行。在帶電情況下進行修理時，有必要保證人身及設備的肯定安全