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真空爐中的真空氣淬爐的主要結構部件,影響設備安全性的爐殼、爐門及齒圈的結構組成。由于真空氣淬爐在正壓和負壓重復替換運用的特殊性,為了確保設備運用的安全性一起完成設備的經濟性,對爐殼和齒圈經過核算法、查圖法進行理論核算,并選用有限元分析法對結構進行安全性分析。經過力學模型對規劃結構中的薄弱環節進行結構優化,到達結構安全性的要求。
真空中的淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬行將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體(如氮)進行冷卻。適用于氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的資料。液淬是將工件在加熱室中加熱后，移至冷卻室中充入高純氮氣并當即送入淬火油槽，快速冷卻。假如需求高的表面質量，工件真空淬火和固溶熱處理后的回火和沉淀硬化仍應在真空爐中進行。
真空淬火爐：真空淬火爐可分為真空油淬爐和真空氣淬爐
真空回火爐：真空回火爐可分為單室、雙室和立式等一般選用鎳鉻帶加熱最高溫度為800℃。真空回火爐一般適用要求回火后零件表面光亮、沒有氧化色。
真空退火爐：真空退火爐可分為單室、雙室和立式。真空退火爐根據零件資料可選擇中高溫和低溫，（中高溫800℃～1350℃、低溫800℃）。
真空油淬爐適用于模具鋼、彈簧鋼、不銹鋼、軸承鋼、高溫合金鋼等的真空熱處理。其主要特點是適用的資料規模廣、淬透性強、成本低、淬火油可重復運用。不足之處有；變形量相對要大一些，工件后續需求清洗。真空油淬爐從結構上可分為雙室爐和三室爐等。
真空高壓氣淬爐適用于高速鋼、不銹鋼、模具鋼等一些淬透性比較好的資料的真空熱處理，特點是零件變形量小、零件熱處理后不需求清洗。不足之處有淬火氣體不能回收、成本較高。真空高壓氣淬爐從結構上可分為臥式和立式兩種。臥式可分為單室、雙室和三室等。立式的適用環形狀、筒狀和長桿狀零件的熱處理。真空高壓氣淬爐淬火壓力一般為2ba r～10ba r。根據用戶的需求可選擇零件適用于壓力的爐型。
