(1)真空有利于掃除吸附氣體，對促進燒結后期的收縮效果明顯。
(2)真空有利于硅，鋁，鎂，鈣等雜質或其氧化物的掃除，起到提純資料的效果。
(3)真空可改進液相燒結的潮濕性，有利于燒結過程中的收縮和改進合金的組織結構。
(4)真空是抱負的慵懶氣氛，當不宜用其他還原性或慵懶氣體時，或許對容易呈現(xiàn)脫碳，滲碳的資料，均可選用真空燒結爐。
(5)減少氣氛中的有害成分(水，氧，氮等)對產品的玷污。例如，電解氫中的含水量要求降至-40℃較為困難;而真空燒結爐，真空度只要在數(shù)百Pa就相當于含水量為-40℃。
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