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真空爐石墨發熱體真空熱處理爐加熱元件的改變
    由高熔點金屬制成的真空爐石墨發熱體真空熱處理爐加熱元件會跟著真空度和溫度的升高而蒸發加重，如鉬在1800℃、鉭在2200℃、鎢在2400℃以上運用時，蒸發更為劇烈。石墨的熔點很高為3700℃，但其在真空中運用溫度逾越2400℃時也會敏捷蒸發，為了抑制真空爐石墨發熱體真空熱處理爐加熱元件在真空中的蒸發，可在爐內通入必定壓力的惰性氣體或高純氮氣。用高熔點金屬鉬、鎢、鉭制成的真空爐石墨發熱體真空熱處理爐加熱元件，在氧化和滲碳氣氛中都會發生反應，因而不能在上述氣氛中運用。鉬在氧化性氣氛中會生成極易進步的氧化鉬，在滲碳性氣氛中會生成高電阻率的碳化物，甚至造成電熱元件斷裂。