石墨材料作為真空熱處理爐加熱元件在較低溫度使用時，其蒸發丟掉很小，損壞多因為材料功用、應力損壞、氧化速度、機械電氣缺點引起的損壞。石墨材料的材料對加熱元件有較大影響，假定選擇顆粒過粗，材料不均勻的石墨材料做加熱元件，部分缺點會導致部分電阻過大，發生部分過熱，導致使用壽命下降，甚至會燒斷加熱器；石墨加熱器作業時發生的熱應力會對其發生損壞。石墨在低溫時導熱功用出色，在高溫時就下降為低溫時的幾分之一，構成真空熱處理爐加熱元件表面和心部的溫度差，使斷面伸長不一，發生熱應力，損壞加熱元件；石墨加熱器的氧化生成物簡略散逸，不會構成細密氧化膜保護層，然后使氧化接連進行，假定爐內密封欠好或惰性氣體純度不行會加重真空熱處理爐加熱元件的氧化；爐內工件材料蒸發凝集使石墨加熱元件與絕緣件連電短路也會損壞真空熱處理爐加熱元件；當石墨加熱元件與其它金屬零件相互連接時，因為線膨脹系數不同大構成應力，使石墨件受揉捏或拉伸，加速石墨加熱元件開裂；此外石墨件加工、設備質量對真空熱處理爐加熱元件的使用壽命也有非常顯著的影響，石墨件觸摸面光滑程度不行會使觸摸電阻過大，燒壞真空熱處理爐加熱元件，設備時過松會出現因為觸摸不良而發生的拉弧，然后燒壞加熱器和接頭，過緊則會因為石墨材料的塑性差而使其受力損壞。
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