真空爐石墨發熱元件經過高溫焙燒后，其表面和內部可能發生物理化學改動（如孔隙率改動、表面氧化層構成等），需進行系統化處理以保證功用安穩和延伸運用壽數。以下是具體的處理過程及注意事項：
一、焙燒后處理流程
冷卻階段
自然冷卻：
堅持爐內真空或惰性氣體環境（如Ar、N2），緩慢降溫至800℃以下，防止急冷導致熱應力開裂。
降溫速率建議：800℃以上時≤5℃/min，800℃~200℃時≤10℃/min。
強制冷卻（可選）：
當溫度降至200℃以下，可通入冷卻水（流量5~10L/min）加速冷卻，但需監控石墨件表面溫度梯度（＜50℃/m）。
表面清潔
物理清潔：
運用枯燥壓縮空氣（壓力0.3~0.5MPa）吹掃表面浮灰及孔隙內殘留物。
對頑固堆積物（如金屬蒸氣冷凝物），用軟毛刷（尼龍或碳纖維原料）輕刷。
化學清潔：
浸泡于無水乙醇或丙酮中超聲清洗（頻率40kHz，時刻30min），去除有機污染物。
若存在氧化層，可選用5%稀鹽酸（室溫浸泡1~2min）清洗，隨后用去離子水沖刷并烘干。
缺點檢測與批改
目視檢查：
要點調查表面裂紋（寬度＞0.1mm需報廢）、部分發黑（氧化嚴峻區域）或變形（彎曲度＞2mm/m）。
無損檢測：
運用滲透探傷劑（如紅色顯影劑）檢測微裂紋。
X射線或工業CT掃描（分辨率＜50μm）檢查內部孔隙和結構危害。
批改處理：
細微裂紋（＜0.1mm）可涂覆石墨修補膏（碳含量＞95%），高溫固化（1200℃×2h）。
部分氧化區域用金剛石砂輪（粒度#600）打磨至露出新鮮表面。
二、功用康復與表面處理
抗氧化涂層制備
CVD碳化硅涂層：
在專用涂層爐中通入CH?SiCl?/H?混合氣體，溫度1100~1300℃，堆積時刻4~8h，涂層厚度20~50μm。
涂層后表面粗糙度Ra可降至0.4μm，抗氧化溫度提升至1600℃。
浸漬法處理：
將石墨件浸入磷酸鋁溶液（濃度15%），真空浸漬2h，烘干后1000℃熱處理，填充孔隙率至＜5%。
電阻率校準
分段測量：運用四探針電阻儀測量各段電阻值（容許差錯±3%），失常區域需檢查接觸面氧化或內部裂紋。
接觸面處理：
電極接觸面用砂紙（粒度#800）打磨至粗糙度Ra＜1.6μm，涂覆銀漿（銀含量≥85%）后300℃烘干。
三、存儲與設備前準備
枯燥存儲
存放于恒濕柜（濕度＜30%，溫度25±5℃），防止吸潮導致電阻率升高。
長期存儲時，表面噴涂防氧化蠟（如微晶蠟，厚度10~20μm）。
預老化處理（針對新涂層元件）
在真空爐中模仿工作條件（升溫至額外溫度×80%保溫2h），釋放涂層內應力，檢測涂層附著力（無脫落為合格）。
設備前檢查
尺度校驗：用千分尺測量關鍵尺度（如直徑、螺距），容許公役±0.05mm。
絕緣測驗：電極與爐體間絕緣電阻＞100MΩ（測驗電壓1000VDC）。
四、注意事項
防止二次污染
清潔后操作需佩戴無塵手套，防止手汗或油脂污染。
存儲環境需與金屬粉塵、酸性氣體隔離。
安全操作
高溫焙燒后的石墨件需冷卻至室溫后再接觸，防止燙壞。
運用化學試劑時裝備防毒面具和耐腐蝕手套。
壽數評估
每次焙燒后記載電阻率改動率（累計添加＞10%需替換）。
計算熱循環次數（一般高純石墨可耐受200~300次熱循環）。
五、常見問題與對策
問題 原因分析 解決方案
表面粉化脫落 氧化過度或涂層失效 從頭打磨并涂覆SiC涂層
電阻率不均勻 內部孔隙分布不均 真空浸漬硼酸鎂溶液后二次焙燒
設備后發熱不均 接觸面氧化或緊固力不均 從頭打磨接觸面并均勻施力（扭矩扳手操控）
運用中失常揮發 石墨純度不足（灰分＞200ppm） 替換高純石墨（灰分＜50ppm）
經過上述系統化處理，焙燒后的石墨發熱元件可康復90%以上初始功用，延伸運用壽數至3~5年。建議建立每批次元件的處理檔案（包括清潔記載、涂層參數、檢測數據），為后續優化供應數據支撐。