真空分為物理真空和工業真空兩種。物理真空是指沒有任何粒子存在的空間，工業真空是指氣壓比一標準大氣壓小的氣體空間，是指淡薄的氣體狀態，一般是用特殊的抽氣機得到真空的。真空爐的真空屬于工業真空。
嚴擠的真空密封：眾所周知，余屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內進行，因而，取得和維抖爐子原定的漏氣率，確保真空爐的不作真空度，對確保零件真空熱處理的質最有著非常重要的意義，所以真空熱處理爐的一個關鍵問題，就足要有可靠的真空密封結構，為了確保真空爐的真空功能，在真空熱處理爐結構規劃中必須遵從一個基本原則，便是爐體要選用氣密焊接，一起在爐體上盡量少開或許不開孔、少選用或許避免選用動密封結構，以盡最削減真空走漏的時機，安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出裝胃也都必須規劃密封結構。
真空系統由分散泵、機械泵、主路閥、高真空擋板閥和旁路閥等組成。機械泵為粗真空設備,其動力源是一臺三相溝通電動機,經過溝通接觸器的斷開與吸合完成泵的中止與作業。高真空油分散泵為高真空設備,借助分散泵油和前級機械泵及電爐加熱的效果完成高真空度要求的抽氣作業,經過溝通接觸器的斷開與吸合操控其電加熱爐的通斷,從而操控分散泵的中止與動作。
操控過程中對人的依賴性帶來不穩定要素。因出產周期較長，受人的心情、經驗、責任感、疲憊程度等的影響較大，質量難以確保；監測儀表陳腐落后，測量數據不準確，嚴重影響產品的質量。國外真空熱處理技術發展于50年代，其間高溫真空爐，多用于熔煉、治金等方面，主要以焦碳作燃料。而低溫真空爐主要以電熱烘烤為主，電熱處理能耗低，價格便宜。一般電力變壓器器身烘烤多選用低溫真空爐。到70年代，國外金屬熱處理，如熔煉、治金等方面的高溫真空爐已開始選用微機操控和可編程操控器，對電力變壓器烘烤所用的低溫真空爐則作功率溫度操控和固態溫度操控。完成過程操控和出產自動化尚有一定距離。
真空爐的結構、溫度操控、加熱工藝和爐內氣氛等，都會直接影響真空爐出產后的產品質量。在鍛造加熱爐內，進步金屬的溫度，可以下降消融阻力，但溫度過高會引起晶粒氧化或過燒，嚴重影響真空爐內的產品質量。在熱處理過程中，如果把鋼鐵加熱到臨界溫度以上的某一點，然后突然運用冷卻發冷卻，就能進步鋼的硬度和強度;如果加熱到臨界溫度以下的某一點后緩慢冷卻，則又能使鋼更賦有耐性。
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