一、 真空熱處理爐根據用途能夠分為真空淬火爐、真空回火爐、真空退火爐等。
1、真空淬火爐；真空淬火爐可分為真空油淬爐和真空氣淬爐。
1、1真空油淬爐適用于模具鋼、彈簧鋼、不銹鋼、軸承鋼、高溫合金鋼等的真空熱處理。其主要特點是適用的材料規劃廣、淬透性強、成本低、淬火油可重復運用。不足之處有；變形量相對要大一些，工件后續需求清洗。真空油淬爐從結構上可分為雙室爐和三室爐等。
1、2真空高壓氣淬爐適用于高速鋼、不銹鋼、模具鋼等一些淬透性比較好的材料的真空熱處理，特點是零件變形量小、零件熱處理后不需求清洗。不足之處有淬火氣體不能收回、成本較高。真空高壓氣淬爐從結構上可分為臥式和立式兩種。臥式可分為單室、雙室和三室等。立式的適用環形狀、筒狀和長桿狀零件的熱處理。真空高壓氣淬爐淬火壓力一般為2b a r～10b a r。根據用戶的需求可選擇零件適用于壓力的爐型。
2、真空回火爐：真空回火爐可分為單室、雙室和立式等一般選用鎳鉻帶加熱最高溫度為800℃。真空回火爐一般適用要求回火后零件表面亮光、沒有氧化色。
3、真空退火爐：真空退火爐可分為單室、雙室和立式。真空退火爐根據零件材料可選擇中高溫文低溫，（中高溫800℃～1350℃、低溫800℃）。
二、真空爐加熱室的選擇
1、石墨反射屏:一般在真空爐上運用的有硬氈和軟氈兩種，適用于一般鋼材的淬火、回火、退火。高溫釬焊、粉末冶金和燒結等。
2、金屬隔熱屏; 一般在真空爐上運用的有不銹鋼和鉬兩種。鉬反射屏適用于高溫、對爐內環境要求較高的材料的（如：高溫合金、鈦合金、磁性材料等）淬火、退火、高
溫釬焊、燒結等。不銹鋼飯射屏適用于回火、低溫退火、時效、真空鋁釬焊等，一些低溫爐型的選擇。
三、真空度的選擇
1、淬火熱處理可選用中真空的（一般極限4X10-1P a）選用兩級泵（前級泵和羅茨泵）如軸承鋼、模具鋼、結構鋼等的真空熱處理。
2、對一些要求高真空的產品，如（高溫合金、鈦合金、磁性材料等的真空熱處理或高溫釬焊。可選擇三級泵（前級泵。羅茨泵、渙散泵等）一般要求真空度的極限在10-4Pa。
四、控制系統的選擇
1、標準裝備；以進口溫度控制儀和可編程控制器為中心，完成了溫度可編程、手動和自動控制。
2、核算機控制系統；以工控機和可編程控制器為中心工藝編程，儲存、做成報表。可核算機獨立操作，自動、手動，工藝編程等。
3、核算機群控系統；以工控機為中心對多臺真空爐的監測、收集數據、工作情況、報表處理等為一體的高科技控制系統。