1.真空回火爐應具有快速冷卻裝置。冷卻水的壓力應大于0.2MPa，流量應可調。
2.真空爐的活動連接部分均采用O形橡膠環密封，均為水冷式。
3.真空爐的維護應處于真空或純氮狀況，避免在不正常使用時吸入和吸濕。
4.真空淬火油應用于真空淬火工件。這種油的飽滿蒸汽壓很低。
5.國內真空爐壓力上升速率不應超過1.33Pa/h，國外一些企業的標準為0.67Pa/h。
6.加熱：放置工件后，可先加熱，再泵至667帕。
7.在加熱過程中，工件和爐內的資料會放氣，真空度會下降。
8.真空回火、真空退火、真空固溶處理和真空時效的加熱溫度一般與常規處理相同。
9.鈦合金在真空爐中處理時，由于鈦和氮在高溫下反應生成金氮化鈦，因而氮氣不能作為冷卻氣體。
10.冷卻氣體：鋼一般使用99.995%的純氮、99.999%的氮或氬的高溫合金、99.995%的氬鈦合金。
11.真空加熱主要是放射線，工件應放在爐內。
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