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單晶硅 / 碳化硅襯底的高溫退火爐、離子注入機加熱系統，確保溫度穩定性（±1℃），避免雜質污染；

公差規劃的巨細直接影響到真空爐石墨配件的設備精度。假定公差過大，可能會導致配件之間的空位過大，影響設備的整體功用和穩定性。

真空爐石墨電極頭的加工技術觸及質料挑選與預備、成型與粗加工、精加工與后處理、特別工藝處理以及質量檢測與包裝等多個環節。

石墨電極：石墨電極的規范公差一般為02mm單邊，規范料公差為01mm單邊內為合格。這一公差規劃保證了石墨電極在安裝和使用過程中的穩定性和可靠性。

真空爐石墨螺母一般選用粗牙螺紋，這種螺紋形狀可以更好地習氣石墨材猜中的孔隙、雜質、晶粒等缺點，保證真空爐石墨螺母與石墨加熱元件之間的緊密聯接。

真空爐石墨橫梁的主體結構一般由高純度、高密度的石墨材料制成

真空爐石墨配件的公役規劃并不是固定不變的，它遭到多種要素的影響，包含產品類型、規范規范、生產工藝以及客戶定制需求等。