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真空爐保護工件不氧化脫碳 、保護易氧化的加熱元件 、減少工件的內部含氣 、被熔煉金屬內可加較多的易氧化元素 。
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真空熱處理即真空技術與熱處理兩個專業相結合的綜合技術，是指熱處理工藝的悉數和部分在真空狀態下進行的，我國將真空劃分為低、中、高和超高真空。目前大多數真空熱處理爐的作業真空度在1.33~1.33×10ˉ3Pa。
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真空爐是采用石墨布加熱，石墨布氈與耐火纖維氈隔熱的油淬氣冷真空爐。該設備由爐體、加熱室、油淬室、氣冷室、真空隔熱門、工件傳動機構、真空機組、電氣控制體系，回充氮氣體系和水冷體系等組成。首要用于合金鋼、工具鋼、摸具鋼、高速鋼、彈簧鋼、軸承鋼、不銹鋼以及磁性材料的亮光淬火，退火和部分鋼種的亮光回火，該爐型亦可做為真空釬焊、真空燒結等用。
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真空爐的結構、溫度控制、加熱工藝和爐內氣氛等，都會直接影響真空爐生產后的產品質量。在鍛造加熱爐內，提高金屬的溫度，能夠下降消融阻力，但溫度過高會引起晶粒氧化或過燒，嚴重影響真空爐內的產品質量。在熱處理過程中，如果把鋼鐵加熱到臨界溫度以上的某一點，然后忽然運用冷卻發冷卻，就能提高鋼的硬度和強度;如果加熱到臨界溫度以下的某一點后緩慢冷卻，則又能使鋼更賦有耐性。
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真空鍋爐是在封閉的爐體內部構成一個負壓的真空環境，在機體內填充熱媒水。經過燃燒或其它方法加熱熱媒水，再由熱媒水蒸發―冷凝至換熱器上，再由換熱器來加熱需求加熱的水。
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采用低壓電：真空熱處理爐內導體電壓較高的狀況下，會發生放電的狀況。在真空熱處理爐內，較嚴重的會發生弧光放電，會焚毀隔熱層、焚毀原件等等嚴重事故。所以真空爐的作業電壓堅持較低的狀態，在70—90左右。同時相關電器元件采取保護措施，電機之間的距離不能過小避免放電。
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消除了加熱過程中工件外表的氧化、脫碳，可獲得無蛻變層的清潔外表。這關于那些在刃磨時僅磨一面的刀具(如麻花鉆磨削后使溝槽外表的脫碳層直接暴露于刃口)切削性能的改善聯系極大。
