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真空爐的工藝溫度常達1200-2000℃,金屬發熱體(如鉬、鎢)在 1600℃以上會軟化變形,陶瓷載具(如氧化鋁)在急冷急熱時會迸裂,而高純石墨(固定碳≥99.9%)在2800℃以下功能安穩,熱膨脹系數僅是金屬的 1/10)。
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在半導體芯片退火、航空航天材料燒結等高端制作領域,真空爐是中心設備,而真空爐用石墨制品則是其 “心臟部件”—— 從1000℃的硅片分散到2000℃的鈦合金熔煉,從0.1Pa的高真空到惰性氣體維護氛圍,石墨制品以 “耐高溫、抗腐蝕、低蒸發” 的特性,撐起了真空爐內的精細制作。
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在半導體芯片退火、航空航天材料燒結等高端制造領域,真空爐是中心設備,而真空爐用石墨制品則是其 “心臟部件”—— 從1000℃的硅片分散到2000℃的鈦合金熔煉,從0.1Pa的高真空到慵懶氣體保護氣氛,石墨制品以 “耐高溫、抗腐蝕、低蒸騰” 的特性,撐起了真空爐內的精細制造。今日就來詳解這些專為真空爐設計的石墨制品,看看它們如安在極點環境下確保工藝安穩性,成為高端制造的 “隱形基石”。
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真空爐石墨爐床板材料的中心選擇是石墨,這種非金屬礦藏在高溫環境中表現出色,是真空爐的志向選擇。
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雙室油淬氣冷真空爐的使用范圍非常廣泛。例如,在機械制作范疇,該設備能夠用于制作各種東西、量具、刃具等金屬制品的淬火和退火處理,行進其硬度和耐磨性。
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真空爐中的石墨件在高溫、真空或惰性氣體環境中作業,若保養不當,簡略因多種原因導致損壞,影響設備功用和運用壽數。
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為行進真空爐石墨加熱管的熱交換功率,需從資料優化、結構規劃、工藝調控及輔佐技能四方面概括改進。