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在選取加熱元件時也要根據自己所需處理產品的化學功用，以免加熱元件的原料影響到工件的質量。因而，真空爐要合理的選取加熱元件。
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真空爐按加熱元件分為真空電阻爐﹑真空感應爐﹑真空電弧爐﹑真空自耗電弧爐﹑電子束爐(又稱電子轟擊爐)和等離子爐等。
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真空爐熱處理工藝一般包括加熱、保溫、冷卻三個過程，有時只要加熱和冷卻兩個過程。這些過程相互聯接，不行間斷。
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因為真空爐的種類和型式許多，因此維護和檢修的項目各不相同，修理查看內容應依據爐子技能文件并可按實際需要分為每爐次、每日、每月，每半年和每一年進行的項目。
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真空燒結爐首要用于半導體元器材及電力整流器材的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體維護燒結及慣例燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝配備，它規劃構思新穎，操作便利，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，小編就為您介紹真空燒結爐的應急辦法。
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真空爐一般由主機、爐膛、電熱設備、密封爐殼、真空體系、供電體系、控溫體系和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用處,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
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對真空爐進行修理后，要進行烘爐、有必要對真空爐進行真空檢漏。真空爐烘爐前，可用1000V搖表檢測真空爐的絕緣，正常不小于2MΩ。
