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工件放到真空燒結爐感應器內，感應器般是輸入中頻或高頻交流電(300-300000Hz或更高)的空心銅管。產生交變磁場在工件中產生出同頻率的感應電流，這種感應電流在工件的散布是不均勻的，在外表強，而在內部很弱，到心部接近于0，利用這個集膚應，可使工件外表迅速加熱，在幾秒鐘內外表溫度上升到800-1000oC，而心部溫度升高很小。這也是開端說的中頻感應加熱的原理。
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真空氣氛爐又名無氧退火爐、真空氣氛燒結爐等，它真空技能與熱處理技能相結合的新式熱處理技能，真空熱處理所處的真空環境指的是低于個大氣壓的氣氛環境，包含低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實際也歸于氣氛控制熱處理。
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（1）工件資料：一般工件的安排均勻化時刻只要依賴于工件的資料類型。
（2）升溫時刻：爐內溫度上升到設定溫度的時刻主要與加熱溫度、加熱速度、工件的形狀大小以及是否預熱有關。
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1、加熱速度
真空熱處理爐的加熱方法主要以輻射加熱為主，其特點是爐膛升溫速度比工件升溫速度快得多。因為爐膛的隔熱材料大多選用石墨氈和陶瓷纖維，這類材料的熱容量小，保溫性能好，所以爐膛的熱慣性小，升溫速度快。
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1、碳量散布不均勻
通常，硬質合金燒結體的彎曲變形均是發生在其冷卻凝結階段，在燒結體冷卻時，它的凝結總是從碳量較低的部位開始。若一個部位的碳量較低則該點首先凝結，凝結時縮短發生的空地就由其他點給予補償，因此同一燒結體總是碳量較低的部位突起，而碳量較高的當地凹下。所以真空燒結爐內壓坯碳量散布的不均勻會導致產品的彎曲變形。
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1、作業進程真空燒結爐真空度下降：當真空度低于50pa時，關主閥開粗抽閥。當真空度康復后關粗抽閥開主閥。
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待機械泵運轉正常后敞開前級閥，五分鐘后封閉前級閥，并敞開粗抽閥。
當真空度高于是1×103Pa（即壓強低于1×103Pa）時，能夠敞開羅茨泵。工作時，如真空度下降，低于1×103Pa時，應及時封閉羅茨泵（一般真空爐都裝有過壓保護裝置）。
