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在實踐作業中，有時會呈現工件真空淬火后，工件的硬度顯著偏高的現象。如丈量資料為30CrMnSiA 的工件進行真空淬火后的硬度為53HRC，高于平常所測硬度值44～48HRC。對該制件金相檢查后發現，制件外表有0.2mm的滲碳層。原30CrMnSiA的含碳量為0.28%～0.35%，而工件外表進入碳元素后，使外表含碳量進步，淬火后外表硬度高，導致工件硬度反常。該批制件因無加工余量且外表增碳，整批作廢。
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真空度不合格是常見的毛病之一，它對出產和設備的損害較大，甚至會形成加熱室損毀的嚴重后果。真空走漏毛病修理的關鍵在于精確地判別出走漏點。真空度抽不上去的或許原因很多，比如真空機組的抽氣才能缺乏，或許存在走漏。要通過以下辦法進行排查∶將腔室抽到必定的真空狀況后，關閉真空閥
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真空體系泵抽作用不良是泵抽體系本身存在的問題， 原因主要有兩個：一是前級泵達不到極限真空度，二是分散泵有毛病。
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真空爐的進電極(也叫水冷電極﹑銅電極或進電銅電級)是將電能引進到爐內電熱元件(此處是石墨棒)上的導電設備,選用水冷辦法,用紫銅制造。它與爐室內石墨發熱體相連,通過爐殼(此真空爐爐殼選用圓筒狀雙層水冷結構)時要確保出色的真空密封;一同,進電極與爐殼應有出色的絕緣性能。因此,在進電級與爐殼之間規劃有密封結構。
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①水分排出期0～200℃，是真空爐保溫層中的水分和真空爐體中潮氣的排出期，有必要查看真空爐真空度，同時保溫時刻較長。
②真空爐體放氣量大的溫度區一般在500℃左右，因真空爐放氣量比較大，這時升溫不超越50℃/h。保溫時刻一般在60分鐘以上。
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對于熱處理工藝，第一個問題便是溫度。電阻絲加熱的真空燒結爐會遭到最高溫度的限制。這里有三種不同的保溫材料：陶瓷纖維保溫材料，金屬（鉬或鎢）防輻射屏障和石墨氈。鐵鉻鋁和硅鉬棒是常見的二種加熱元件
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真空燒結爐是在真空環境中對被加熱物品進行保護性燒結的爐子
